Advanced Precise Roughness & Dynamic Vibration Measuring Interferometry
非接觸式粗糙度白光干涉儀

量測應用:

粗糙度
平坦度
波紋度
微結構
表面輪廓
洞深
磨耗體積
斷差

Measure Items:

1.Roughness 
2.Flatness
3.Waviness
4. µ- structure
5. Height Profile
6. Depth of Via
7. Wear Volume
8. Step Height